클러스터 장비란 ?300mm 웨이퍼를 사용하는 현대 반도체 제조에서는 고속, 고정밀, 고수율이 핵심 목표입니다. 이러한 요구에 대응하기 위해 설계된 시스템이 바로 **반도체 클러스터 장비(Cluster Tool)**입니다. 이 장비는 진공 환경 내에서 다수의 공정 모듈이 연결된 구조로, 웨이퍼가 외기 노출 없이 연속적인 공정을 수행할 수 있게 설계되어 있습니다.특히, **300mm 웨이퍼 클러스터 장비는 EFEM(Equipment Front End Module)**을 포함한 완전 자동화 시스템을 채택하여, FOUP 로딩에서부터 진공 챔버 내부 이송, 각종 공정 처리까지 모든 과정이 통합되어 작동합니다. 클러스터 장비의 전체 하드웨어 구성 개요300mm 클러스터 장비의 기본적인 구조는 아래와 같은 모듈들..
