반도체 장비 PC제어

반도체 제조 공정에서 물류 자동화는 생산성 향상과 불량률 감소의 핵심입니다. 특히 300mm 웨이퍼 전공정 장비에서는 EFEM(Equipment Front End Module)이라는 물류 인터페이스가 필수적으로 장착되며, 이 EFEM의 시작 지점이자 물류의 입출입을 담당하는 장치가 바로 **Loadport(로드포트)**입니다. 1. Loadport란 무엇인가?Loadport는 FOUP(Front Opening Unified Pod)라는 웨이퍼 운반용 캐리어를 반도체 장비에 자동으로 장착하고 해제하는 인터페이스입니다. 쉽게 말해, 물류 자동화 시스템과 EFEM이 만나 시작되는 지점이며, OHT나 AGV 등 외부 자동화 시스템에서 전달된 FOUP을 안전하게 수용하고 장비에 이송하는 첫 단계입니다. 2. L..

클러스터 장비란 ?300mm 웨이퍼를 사용하는 현대 반도체 제조에서는 고속, 고정밀, 고수율이 핵심 목표입니다. 이러한 요구에 대응하기 위해 설계된 시스템이 바로 **반도체 클러스터 장비(Cluster Tool)**입니다. 이 장비는 진공 환경 내에서 다수의 공정 모듈이 연결된 구조로, 웨이퍼가 외기 노출 없이 연속적인 공정을 수행할 수 있게 설계되어 있습니다.특히, **300mm 웨이퍼 클러스터 장비는 EFEM(Equipment Front End Module)**을 포함한 완전 자동화 시스템을 채택하여, FOUP 로딩에서부터 진공 챔버 내부 이송, 각종 공정 처리까지 모든 과정이 통합되어 작동합니다. 클러스터 장비의 전체 하드웨어 구성 개요300mm 클러스터 장비의 기본적인 구조는 아래와 같은 모듈들..