1. MFC란 무엇인가?MFC(Mass Flow Controller)는 ‘질량 유량 제어기’로 번역되며, 특정 가스의 흐름을 정밀하게 조절하는 장치입니다. 반도체 장비뿐만 아니라 디스플레이, 화학, 바이오, 에너지 산업에서도 폭넓게 사용됩니다. 특히 반도체에서는 수십 종의 가스를 나노 단위까지 제어해야 하기 때문에 MFC의 정확도와 반응 속도는 공정 품질에 직결됩니다. 2. 반도체 공정에서 MFC의 역할반도체 공정은 다양한 가스를 이용해 증착(CVD), 식각(Etch), 세정, 도핑 등 고도의 화학 반응을 유도합니다. 이때 가스의 유량을 일정하게 유지하지 못하면, 웨이퍼의 두께 불균일, 식각 손상, 수율 저하 같은 문제가 발생합니다. MFC는 이러한 공정 내 가스 흐름을 실시간으로 감지하고, 설정값에 맞..