반도체 전공정 장비의 진공 이론과 진공 챔버의 중요성 서론반도체 산업은 현대 기술의 근본적인 기초를 이루고 있으며, 그 발전은 전자기기, 통신, 컴퓨터 등 다양한 분야에 혁신을 가져왔습니다. 이러한 반도체 제조 공정에서 진공 기술은 필수적인 요소로 자리 잡고 있습니다. 본 블로그에서는 진공에 대한 기본 이론과 반도체 장비의 진공 챔버에 대해 더욱 자세히 살펴보겠습니다. 진공의 기본 이론1. 진공의 정의진공은 일반적으로 대기압보다 낮은 압력을 의미합니다. 대기압은 해수면에서 약 1013 hPa(헥토파스칼)로 측정되며, 진공 상태는 이보다 낮은 압력을 가진 상태를 말합니다. 진공의 정도는 압력으로 측정되며, 보통 밀리바(mbar) 또는 파스칼(Pa) 단위로 표현됩니다. 진공의 정의는 단순히 압력의 감소에 그..
