반도체 제조 공정에서 물류 자동화는 생산성 향상과 불량률 감소의 핵심입니다. 특히 300mm 웨이퍼 전공정 장비에서는 EFEM(Equipment Front End Module)이라는 물류 인터페이스가 필수적으로 장착되며, 이 EFEM의 시작 지점이자 물류의 입출입을 담당하는 장치가 바로 **Loadport(로드포트)**입니다. 1. Loadport란 무엇인가?Loadport는 FOUP(Front Opening Unified Pod)라는 웨이퍼 운반용 캐리어를 반도체 장비에 자동으로 장착하고 해제하는 인터페이스입니다. 쉽게 말해, 물류 자동화 시스템과 EFEM이 만나 시작되는 지점이며, OHT나 AGV 등 외부 자동화 시스템에서 전달된 FOUP을 안전하게 수용하고 장비에 이송하는 첫 단계입니다. 2. L..
