진공센서의 종류와 구조, 원리, 용도 및 측정 압력 범위진공센서는 반도체 제조 공정에서 필수적인 장비로, 기체의 압력을 정확하게 측정하여 최적의 작업 환경을 유지하는 데 중요한 역할을 합니다. 반도체 공정은 매우 정밀한 환경을 요구하며, 진공 상태는 불순물의 침투를 방지하고, 화학 반응을 최적화하는 데 필수적입니다. 이번 포스팅에서는 진공센서의 주요 종류와 각 종류별 구조, 원리, 용도, 측정 압력 범위에 대해 자세히 알아보겠습니다. 1. Pirani Gauge● 구조: 가열된 필라멘트와 이를 둘러싼 진공 챔버로 구성됩니다.● 원리: 필라멘트가 가열되면 주변 기체의 열전도도에 따라 온도가 변화합니다. 기체의 압력이 낮을수록 필라멘트의 온도가 상승하며, 이 온도 변화는 전기 저항의 변화를 초래합니다. 이 ..
